MEMS

MEMS传感器

技术简介

中芯国际的MEMS方案主要集中在两大主流应用领域:第一种为开放式结构,例如MEMS麦克风,目前已经进入量产;第二种为封闭式结构,例如惯性传感器,于2016年第二季度进入量产。

特点

  • MEMS麦克风平台

  • 111彩票 惯性MEMS平台

工艺选择

应用产品

  • 111彩票 硅麦克风

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    111彩票 加速度计

  • 111彩票 陀螺仪

  • 111彩票 压力传感器

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    显微镜

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    超声波传感器

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    射频器件

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